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Seeyu系列設備是一款類金剛石涂層中高品質、不含氫類金剛石膜層ta-C的PVD涂層設備。在技術上,Seeyu采用過濾型陰極弧離子源和磁控濺射作為等離子體發射源,配合以具有世界領先水準的設計和工藝,從而確保涂層產品的高品質。Seeyu系列涂層設備所生產的涂層產品可應用于高端工模具之上,也可應用于有極好耐磨性要求和自潤滑要求的零件之上。

Seeyu系列涂層設備具有良好穩定性和高度自動化程度,帶有成熟的ta-C涂層工藝。開放式的用戶界面也為用戶根據自身要求獨立開發工藝提供了可行性。

技術特點:
PVD沉積技術:過濾型陰極弧離子源和磁控濺射
0.1um~2um厚ta-C涂層工藝
涂層沉積工藝氣體:Ar
控制方式:PLC加工業PC全自動控制

典型應用:
有色金屬、石墨、亞克力等材料的切削刀具
高精密鏡面模具
半導體封裝模具
自潤滑耐磨零件
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