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增強型磁控陰極弧源采用多項專利技術,具有離化能力強,靶材利用率高,安裝形式和規格多樣等特點,配備相應的電源可實現多品種和形式的金屬陶瓷涂層生產。
        增強型陰極電弧源是標準系列產品,星弧也可根據客戶的具體需求而設計生產客制化的產品。

技術特點:
  靶材接近100%的離化率 
  高達40%的靶材使用率   
  陰極弧配置使用高效率的直接水冷,消除有害顆粒
  有效的硬質涂層工藝離子源  
  法蘭連接使得安裝和維修更便捷  

典型應用:
  切削刀具,模具
  制備TiAlN, TiN,CrN, AlCrN, TiSiN等復合涂層
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